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molbloc-L 層流元件

molbloc-L 層流元件

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的層流元件

molbloc-L 是與 molbox 質(zhì)量流量終端結合使用的層流元件。molbloc 流量路徑位于 molbloc 內(nèi)，是活塞與結合緊密的汽缸體之間的縱向環(huán)形間隙。通過調(diào)整這個間隙的尺寸，可獲得不同的 molbloc 量程。對于高流量量程（1E4 尺寸及以上），需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 機體。


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商品描述

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的層流元件

molbloc-L 是與 molbox 質(zhì)量流量終端結合使用的層流元件。molbloc 流量路徑位于 molbloc 內(nèi)，是活塞與結合緊密的汽缸體之間的縱向環(huán)形間隙。通過調(diào)整這個間隙的尺寸，可獲得不同的 molbloc 量程。對于高流量量程（1E4 尺寸及以上），需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 機體。


特性一覽

  • 可與現(xiàn)有的 molbox1+ 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結合使用
  • 整合了過濾器，可保護其免受污染
  • 完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測量
  • 連續(xù)、實時的讀數(shù)
  • 可以實現(xiàn)全自動
  • 無活動部件

molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相對于標稱流量阻抗的數(shù)字指定。在 250 kPa 絕壓 (36 psia) 上游壓力和 50 kPa (7.5 psid) 壓力差的情況下，當?shù)獨饬鹘?jīng) molbloc 時，標稱阻抗可產(chǎn)生標稱流量量程。在實踐中，molbloc 流量量程可能與標稱流量量程差別很大。這些差別來自氣體之間的密度和粘性之間的差別，也來自不同的 molbloc 工作壓力校準選項。

技術指標 - 標準 molbloc-L 校準 - 與 molbox1+ 終端結合使用

測量更新速率 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力
取決于校準類型（請參閱第 1.2.5.1.3 節(jié)）
分辨率 0.0015 % FS
線性 ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
重復性 ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
精確度1 ±0.07% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
10％ FS 下為 ±0.007％ FS
穩(wěn)定度2
（1 年期） 		±0.09% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
10％ FS 下為 ±0.009％ FS
測量不確定度3 ±0.2% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
10％ FS 下為 ±0.02％ FS
（N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準時使用的任意氣體） 1E5 molbloc
±0.5% 讀數(shù)，從 25% 到 100% FS
±0.125% FS，在 25% FS 以下
1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復性。
2 穩(wěn)定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時特定時間段內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預測，因此應該根據(jù)經(jīng)驗建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩(wěn)定度。
3 測量不確定度（精確度）：molbox1+ 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計量校準部的標準測量不確定度。

技術指標 - 特級 molbloc-L 校準 - 與 molbox1+ 終端結合使用

測量更新速率 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準類型（請參閱第 1.2.5.1.2 節(jié)）
分辨率 0.0015 % FS
線性 ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
重復性 ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
精確度1 ±0.07% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
10％ FS 下為 ±0.007％ FS
穩(wěn)定度2
（1 年期） 		±0.03% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
10％ FS 下為 ±0.003％ FS
測量不確定度3 ±0.125% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS
10％ FS 下為 ±0.0125％ FS
（N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準時使用的任意氣體） 1E5 molbloc-L 特級校準不可用
1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復性。
2 穩(wěn)定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時特定時間段內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預測，因此應該根據(jù)經(jīng)驗建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩(wěn)定度。
3 測量不確定度（精確度）：molbox1+ 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計量校準部的標準測量不確定度。

技術指標 - 標準 molbloc-L 校準 - 與 molbox RFM 終端結合使用

  molbloc-L（量程從 1E1-L 到 3E4-L）
測量更新速率 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力，取決于校準類型（請參閱 molbloc-L 量程表）
分辨率 0.01% FS
線性 ±0.23% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS；±0.023% FS，在 10% FS 以下
重復性 ±0.1% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS；±0.01% FS，在 10% FS 以下
精確度1 ±0.25% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS；±0.025% FS，在 10% FS 以下
預測的穩(wěn)定度2
（一年期） 		±0.15% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS；±0.015% FS，在 10% FS 以下
測量不確定度3 ±0.5% 讀數(shù)，從 10% 到 100% FS；±0.05% FS，在 10% FS 以下

具有微量程選項的 molbox RFM

  molbloc-L（量程從 1E1-L 到 3E4-L） molbloc-L（量程僅僅是 1E5)
測量更新速率 1 秒 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力，取決于校準類型（請參閱 molbloc-L 表） 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力，取決于校準類型（請參閱 molbloc-L 表）
分辨率 0.01 % FS，在 0.001 % FS 以下；0.001 % FS，在 10% FS 以下 0.01% FS
線性 ±0.23% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS
±0.0023% FS，在 1% FS 以下 		±0.25% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS；±0.0125% FS，在 5% FS 以下
重復性 ±0.1% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS；±0.001% FS，在 1% FS 以下 ±0.2% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
精確度1 ±0.25% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS；±0.0025% FS，在 1% FS 以下 ±0.32% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS；±0.016% FS，在 5% FS 以下
預測的穩(wěn)定度2
（一年期） 		±0.15% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS；±0.0015% FS，在 1% FS 以下 ±0.2% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
測量不確定度3 ±0.5% 讀數(shù)，從 1% 到 100% FS；±0.005% FS，在 1% FS 以下 ±0.5% 讀數(shù)，從 5% 到 100% FS；±0.025% FS，在 5% FS 以下